日本Fluoro福乐小型真空泵FV-10/FV-XP高效空气微粒过滤器的技术参数

日本Fluoro福乐小型真空泵FV-10/FV-XP高效空气微粒过滤器

FV-XP 在保持紧凑外形的同时，通过多级隔膜结构实现了比入门级 FV-10 更高的真空度和流量。

参数项目 技术规格

工作原理 无油多级隔膜式 (Dry Diaphragm)

真空压力 -60 kPa (约 -450 mmHg)

流量 2.8 l/min

额定电压 100-120 VAC (标准) / 240 VAC (可选)

功耗 10.0 W

洁净等级 适合洁净室 (Cleanroom Use)

外形尺寸 约 137 (D) $\times$ 88 (W) $\times$ 133 (H) mm

预期寿命 > 8,760 小时 (连续运行)

1. 多级隔膜技术 (Multi-stage Diaphragm)

FV-XP 的核心在于其内部的密封隔膜设计。通过多级增压结构，它在极小的机身内实现了 -60 kPa 的高负荷真空压。这使得它不仅能驱动微型吸笔，还能轻松应对 8英寸甚至12英寸 的大尺寸晶圆吸附，且吸附极其稳固。

2. 双重 HEPA 过滤系统

为了严控生产环境的粒子污染，FV-XP 在进气口和排气口均配备了可更换的 HEPA 过滤器。

过滤效率： 对 $0.3\ \mu m$ 以上颗粒的过滤率达 99.97%。

可视化维护： 泵体设有透明视窗，操作员无需拆机即可检查滤网的积尘状态，确保洁净输出。

3. 电磁驱动与免维护设计

该型号采用电磁驱动力代替传统马达，机械接触摩擦极低。

无油设计： 杜绝了润滑油泄露对真空系统的污染。

长寿命： 理论耐久值高，且运行噪音远低于普通旋转泵。

4. 全链路防静电 (ESD Safe)

机身采用添加了碳纤维的导电尼龙材料，配合导电螺旋管和接地端子，能够迅速耗散静电荷，防止在抓取贵重芯片时发生静电击穿（ESD）。