1. 创新的 DuoVac 双向功能
FV-W 显著的特点是支持 “吹气释放"。
吸附阶段: 提供稳定的负压,确保晶圆或元件牢固吸附在吸头上。
释放阶段: 当操作员按下吸笔开关时,泵体迅速切换输出微弱的正压(吹气),抵消残余真空并克服表面粘附力(如静电或微量湿气引起的吸附),实现“零延迟"释放。
2. 洁净室等级的空气净化
为了防止泵体内部产生的微尘污染敏感的生产环境,FV-W 在空气吸入口和排出口均内置了 HEPA 过滤器。该过滤器能捕捉 99.97% 以上直径小至 $0.3\ \mu m$ 的颗粒,确保排出的气体达到洁净室标准。
3. 针对防静电优化的机身
机身采用导电尼龙(Nylon)材质,具备的静电耗散性能。配合 Fluoro 的防静电螺旋软管和接地组件,可以构建一个完整的 ESD 保护链路,防止静电击穿微电子元件。
4. 高可靠性与低噪音设计
采用电磁驱动的无油隔膜结构,机械摩擦极低。这不仅使其理论寿命超过 8,760 小时(持续运行),还显著降低了工作时的噪音和振动,提升了实验室环境的舒适度。
1. 创新的 DuoVac 双向功能
FV-W 显著的特点是支持 “吹气释放"。
吸附阶段: 提供稳定的负压,确保晶圆或元件牢固吸附在吸头上。
释放阶段: 当操作员按下吸笔开关时,泵体迅速切换输出微弱的正压(吹气),抵消残余真空并克服表面粘附力(如静电或微量湿气引起的吸附),实现“零延迟"释放。
2. 洁净室等级的空气净化
为了防止泵体内部产生的微尘污染敏感的生产环境,FV-W 在空气吸入口和排出口均内置了 HEPA 过滤器。该过滤器能捕捉 99.97% 以上直径小至 $0.3\ \mu m$ 的颗粒,确保排出的气体达到洁净室标准。
3. 针对防静电优化的机身
机身采用导电尼龙(Nylon)材质,具备的静电耗散性能。配合 Fluoro 的防静电螺旋软管和接地组件,可以构建一个完整的 ESD 保护链路,防止静电击穿微电子元件。
4. 高可靠性与低噪音设计
采用电磁驱动的无油隔膜结构,机械摩擦极低。这不仅使其理论寿命超过 8,760 小时(持续运行),还显著降低了工作时的噪音和振动,提升了实验室环境的舒适度。
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